中国工程物理研究院中国工程物理研究院激光聚变研究中心单位Inp波导晶圆片采购项目询比公告
项目概况
中国工程物理研究院物资部受中国工程物理研究院激光聚变研究中心委托，拟对Inp波导晶圆片采用询比方式进行采购，特邀请符合本次采购要求的供应商参加本项目询比。
本次采购邀请由采购人通过下列其中一种方式邀请供应商：
☑公告邀请方式（公告发布媒介：中国工程物理研究院招投标信息网（http：//ztbxx.caep.ac.cn/），公告期限为3个工作日）；
一、项目基本情况：
1.项目编号：3208SB22010055
2.项目名称：Inp波导晶圆片
3.预算金额：31万元（人民币）
4.最高限价：31万元（人民币）
5.采购方式：询比
6.简要技术需求或项目基本概况介绍：
（1）采购需求一览表
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包件号 |
包件名称 |
品目/服务/产品名称 |
数量 |
采购预算 |
最高限价 |
交货期/服务期限 |
交货地点/实施地点 |
简要技术要求 |
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1 |
/ |
Inp波导晶圆片
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9 |
31 |
31 |
合同签订后3个月内 |
四川省绵阳市甲方指定地点 |
表面缺陷密度小于等于200个每平方米，技术指标详见技术要求文件。 |
注：响应必须以包件为单位，对所参与包件号中的所有内容进行响应，不允许将包件拆开报价,也不允许将几个包件合并报一个价格，评审、成交以包件为单位。
二、供应商资格条件：
1.具有独立承担民事责任的能力；
2.具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
3.具有履行合同所必须的设备和专业技术能力；
4.具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录
5.参加本次采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
6.截止至响应文件提交截止日，供应商不得为“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）中列入失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单的供应商，不得为“中国政府采购网”（www.ccgp.gov.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商（处罚期限尚未届满的）；
7.不属于被列入中国工程物理研究院不良记录行为供应商名单（被禁止参加的）的在禁止期内的供应商及其法定代表人名下的其他企业。
8.不属于为本采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商。
9.不属于单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商同时参加同一合同项下的政府采购活动的情形。
10.本项目不接受联合体。
11.其他特定资格要求：无
三、获取采购文件
1.时间：2022年01月25日 至2022年01月27日 ，每天上午8:00至下午18:00（北京时间，法定节假日除外）
2.地点：四川省绵阳市游仙区科学城中物院物资部205室
3.方式：现场或电子邮件方式。获取询比采购文件时，供应商可将“供应商获取采购文件登记表”（询比公告中自行下载）发送至代理机构工作人员邮箱，并电话告知代理机构工作人员；也可以持以上资料现场获取。
以上资料无误后，物资部工作人员将询比采购文件电子版发送到“供应商获取采购文件登记表”中所留邮箱。
代理机构工作人员：韩华
联系电话：0816-2483296 ，13990141799
电子邮箱：1833027619@qq.com
4.售价：免费提供
5.供应商必须从中国工程物理研究院物资部获取采购文件才具有询比资格，询比资格不能转让。
四、响应文件提交的截止时间和地点
2022年02月17日 17:30:00（北京时间）（自采购文件发出之日起至供应商提交首次响应文件截止之日止不得少于3个工作日）
响应文件邮寄接收地点：四川省绵阳市游仙区科学城中物院物资部
响应文件现场接收地点：四川省绵阳市游仙区科学城中物院物资部205室。
接收人：李越东0186-2483296，13320885588
3.响应文件必须在提交响应文件截止时间前送达询比地点。逾期送达的响应文件不予接收。本次询比接收邮寄的响应文件，但因邮寄原因导致提交的响应文件在提交响应文件截止时间以后送达的，其响应文件不予接收。
五、保证金交纳数额和形式以及不予退还保证金的情形
1询比保证金：☑本项目不设定
2.履约保证金：☑本项目不设定
六、采购项目联系方式
1.采购人信息
名称：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
地址：四川省绵阳市绵山路64号
联系人：陈素芬
联系方式：0816-2492253
2.采购代理机构信息
名称：中国工程物理研究院物资部
地址：四川省绵阳市游仙区科学城中物院物资部
联系方式：0816-2483296
3.项目联系方式
项目联系人：韩华
电话：0816-2483296
电子邮箱：1833027619@qq.com
供应商获取采购文件登记表
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项目名称 |
Inp波导晶圆片 |
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项目编号 |
3208SB22010055 |
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联系人姓名 |
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联系人身份证号码 |
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联系电话 |
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电子邮箱 |
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开票信息 |
供应商名称： |
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税号： |
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开户行： |
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账号： |
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地址：电话： |
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备注 |
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（盖章）
日期：2022年XX月XX日
公开
技术要求文件
(InP波导晶圆 项目，计划号：KY20220108B001)
1. 范围与内容
本项目拟定制9片InP波导晶圆。
2. 功能技术指标要求
外延片结构尺寸见附件1；
表面缺陷密度≤200个/cm2；
外延片实际总厚度与理论总厚度偏差小于3%；
外延片掺杂浓度偏差小于10%。
3. 验收要求
3.1 功能及技术指标验收要求
表1 功能技术指标验收要求表
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序号 |
项目名称 |
技术要求(含公差) |
检测方法 |
检测仪器 |
检测方 |
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1 |
外延片结构 |
见附件1 |
XRD衍射峰分析 |
XRD |
出厂测试/乙方 |
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2 |
表面缺陷密度 |
缺陷N≤200个/cm2 |
显微镜观察 |
光学显微镜 |
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3 |
厚度偏差 |
实际总厚度与理论总厚度偏差小于3% |
测试衬底到外延片的高度差 |
台阶仪、原子力显微镜等 |
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4 |
掺杂浓度 |
外延片掺杂浓度偏差小于10% |
ECV方法 |
ECV测试仪 |
3.2 交付要求
表2 交付果清单
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序号 |
名称 |
数量 |
成果类别 |
备注 |
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1 |
InP波导晶圆 |
9片 |
硬件 |
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2 |
出厂测试报告 |
1 |
文档资料 |
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4. 交付时间及地点
4.1 交付时间
合同签订后3个月内交付到货。
4.2 交付地点
绵阳市绵山路64号。
附件1
InP波导晶圆片结构
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材料 |
厚度(nm) |
N型掺杂浓度（cm-3） |
备注 |
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InP |
400 |
5e18 |
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InP |
150 |
1e17~3e17 |
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InP |
2600 |
3e16 |
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|
In0.53Ga0.47As |
300 |
4e16 |
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|
In0.6Ga0.4As |
2.9 |
|
源区层 重复生长30次 |
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In0.39Al0.61As |
2.5 |
|
|
|
In0.6Ga0.4As |
2.9 |
|
|
|
In0.39Al0.61As |
2.3 |
1.8e17 |
|
|
In0.6Ga0.4As |
3.0 |
1.8e17 |
|
|
In0.39Al0.61As |
1.9 |
1.8e17 |
|
|
In0.6Ga0.4As |
3.1 |
1.8e17 |
|
|
In0.39Al0.61As |
1.5 |
|
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In0.6Ga0.4As |
3.2 |
|
|
|
In0.39Al0.61As |
1.3 |
|
|
|
In0.6Ga0.4As |
3.3 |
|
|
|
In0.39Al0.61As |
1.4 |
|
|
|
In0.6Ga0.4As |
3.4 |
|
|
|
In0.39Al0.61As |
2.2 |
|
|
|
In0.6Ga0.4As |
5.0 |
|
|
|
In0.39Al0.61As |
0.9 |
|
|
|
In0.6Ga0.4As |
5.7 |
|
|
|
In0.39Al0.61As |
0.9 |
|
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|
In0.6Ga0.4As |
5.8 |
|
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|
In0.39Al0.61As |
0.7 |
|
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In0.6Ga0.4As |
1.9 |
|
|
|
In0.39Al0.61As |
4.0 |
|
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|
In0.53Ga0.47As |
300 |
4e16 |
|
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InP |
1000 |
8e16 |
|
|
InP |
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（1~3）e17 |
衬底 |
理论厚度：6544nm
