中国工程物理研究院物资部受中国工程物理研究院电子工程研究所委托，拟对自动湿法腐蚀系统项目采用竞争性磋商方式进行采购，特邀请符合本次采购要求的供应商参加本项目的竞争性磋商。

一、采购项目基本情况

1.采购项目编号：WTSB20041400141

2.采购项目名称：自动湿法腐蚀系统；

3.采购人：中国工程物理研究院电子工程研究所；

4.采购代理机构：中国工程物理研究院物资部。

二、资金情况

采购预算：82万元；最高限价：80.78万元。

资金来源：国拨，已落实。

三、采购项目简介

序号	产品名称	技术要求	计量单位	数量	交货时间	交货地点	备注
1	自动湿法腐蚀系统	详见竞争性磋商文件第四章	台	1	合同签订后5个月	四川绵阳指定地点

四、供应商邀请方式

公告方式：本次竞争性磋商邀请在中国工程物理研究院招投标信息网(http://ztbxx.caep.ac.cn/)上以公告形式发布。

五、供应商参加本次采购活动应具备下列条件

1.具有独立承担民事责任的能力；

2.具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

3.具有履行合同所必须的设备和专业技术能力；

4.具有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；

5.参加本次采购活动前3年内，在经营活动中没有重大违法记录；

6.供应商及其现任法定代表人、主要负责人不得具有行贿犯罪记录；

7.法律、行政法规规定的其他条件；

8.采购人根据采购项目提出的特殊条件；

8.1．本次采购活动不接受联合体参加，不允许分包和转包。

六、禁止参加本次采购活动的供应商

1.采购截止时间前，被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网”网站（www.ccgp.gov.cn）渠道查询的失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商禁止参加本次采购活动。       

2.采购截止时间前，被列入中国工程物理研究院不良行为记录名单的供应商（被禁止参加的）及其法定代表人名下的其他企业禁止参加本次采购活动。

3.单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商不得参加同一合同项下的采购活动。

4.为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本采购项目的其他采购活动。

七、采购项目需要落实的政府采购政策

1.执行《政府采购促进中小企业发展暂行办法》；

2.执行《财政部、司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》；

3.执行《财政部民政部中国残疾人联合会关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》；

4.执行《财政部 发展改革委 生态环境部 市场监管总局关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》、《关于印发环境标志产品政府采购品名清单的通知》、《关于印发节能产品政府采购的通知》；

5.执行《关于信息安全产品实施政府采购的通知》；

6.执行《无线局域网产品政府采购实施意见》；

7.扶持不发达地区和少数民族地区。

八、磋商文件获取方式、时间、地点

1.凡有意参与者，请于2020年5月20日至2020年5月26日（北京时间，法定公休日、法定节假日除外），上午8:10-11:30，下午14:30-17:30，在四川省绵阳市科学城物资部购买竞争性磋商文件。   

联系人：李岩             联系电话：0816-2487966

2.购买竞争性磋商文件时，供应商需向工作人员提供身份证明材料、已汇款证明材料和开票信息。

2.1身份证明材料包括：供应商为法人或者其他组织的，需提供单位介绍信、经办人身份证明；供应商为自然人的，需提供本人身份证明。

2.2已汇款证明材料:银行电汇底单复印件等。

3.竞争性磋商文件售价：人民币300元/份（本项目采购代理机构提供邮寄服务，邮寄费用由供应商承担）。付款请注明“WTSB20041400141”和“联系人李岩”。

付款信息如下：

户名：中国工程物理研究院物资部

开户行及账号：工行绵阳科学城支行    2308 4151 0910 0007 095

税号：12100 00040 00087 061      地址及电话：四川省绵阳市绵山路64号0816-2485688

4.供应商必须从中国工程物理研究院物资部获取竞争性磋商文件，竞争性磋商文件售后不退, 磋商资格不能转让。

九、递交响应文件截止时间：2020年6月1日14:40（北京时间）。

十、递交响应文件地点：响应文件必须在递交响应文件截止时间前送达磋商地点。逾期送达、密封和标注错误的响应文件，中国工程物理研究院物资部恕不接收。本次采购不接收邮寄的响应文件。

十一、磋商地点：四川绵阳市跃进路北段74号，迪亨世纪酒店会议室。

磋商时间：2020年6月1日14:40（北京时间）。

十二、联系方式

采购人：中国工程物理研究院电子工程研究所

通讯地址：四川省绵阳市游仙区科学城

邮    编： 621999

联 系 人：杨杰

联系电话：0816-2494794 

 

采购代理机构：中国工程物理研究院物资部

通讯地址：四川省绵阳市游仙区科学城中物院物资部

邮    编：621999

联 系 人：李岩

联系电话：0816-2487966      1853163787@qq.com

                                  

 

 

 

2020年5月19日

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

采购项目技术指标参数要求

1. 设备用途

本设备主要用于4寸硅晶圆的湿法碱刻蚀等工艺，可通过机械手按设定程序自动完成刻蚀及清洗工艺。

2. 主要技术指标

«  设备主体外形尺寸：≤150（长）×130（深）×240（高）；

«  两组工艺槽，每组含1个溢流式刻蚀工艺缸位和1个QDR清洗缸位；

«  控温范围：室温~95℃；控温精度：±2℃

«  单次处理片数：直径100mm硅片（0.5mm厚）25片

«  配备传送机械手，可挂持片盒在刻蚀工艺缸位和QDR清洗缸位间完成晶片盒自动传递

«  具备手动控制和自动控制模式，可编制程序实现腐蚀及清洗过程的自动化控制。

3. 设备构成及功能

3.1 设备构成要求

a) 设备由机身主体、刻蚀工艺缸位、QDR清洗缸位、传递机械手臂、供液管路、自动补液箱、水路及排风、排液管道及照明系统、电气控制系统等部分组成。

b) 设备分制程区、电控区、管路区和槽体安装区。其中，电控区设置在设备后上部，与其它区隔离；管路区设置在设备后下方。

c) 设备电控区、管路区、槽体安装区均设维护门。

d) 制程区设有防水防腐蚀照明装置。操作面板上设有照明控制开关。操作面板位于设备前上部或通过支架安装的前侧方，人机界面、控制按钮及主要显示仪表设置其上。

e) 自动补液柜整合在设备内部后方以减少净化间空间占用。

3.2 机身主体

a) 主体骨架采用不锈钢型材焊接及PP外包。

b) 外壳采用进口耐腐蚀瓷白色PP板焊接制成，板材厚度不小于10mm。

c) 排风管道位于主体上部，各槽挥发的气体通过其中排出。

d) 主体内部有接水槽，底部接有排水管道，清洗废水放入接水槽后从排废管道自动排出。

e) 操作门结构：PVC左右对开门。

f) 主体台面为网孔结构。

g) 主体配置高纯水枪、N₂气枪（管路材质PFA材质），用于台面及槽体清洁处理。

h) 主体配置三色信号灯及报警装置，能区分正常工作、故障和工艺完成状态。

i) 主体底部配有脚轮和支撑地脚，方便移动和固定。

3.3 刻蚀工艺缸位

a) 槽体材料：PTFE。

b) 处理方式：四周溢流。

c) 工作液体：40%KOH\25%TMAH腐蚀液。

d) 内口尺寸：≥215 × 180× 190（mm）。

e) 温度：室温～95℃±2℃。

f) 加热方式：氟加热器加热。具有三级保护功能：超温、流量检测防干烧、过载漏电。

g) 循环过滤：采用循环泵，下进上出，进液口配有进液扰流板，从溢流口溢出后通过过滤系统再进入进液口，实现溶液循环，循环流量≥10L/min,过滤精度0.1μm。

h) 鼓泡系统：槽底均布N₂鼓泡装置，气量可调节。

h) 液位控制：N₂压差式液位检测，三点液位，最低保护液位、最低工作液位（自动补液液位）、最高工作液位（自动补液停止液位）。

i) 药液注入：手动供液，由自动补液箱（2~4L）定量自动补液。

j) 药液排放：碱原液由泵打到自备回收桶中，余液稀释后通过气控阀排至厂务废液管道。

k) 回流冷凝系统：工艺中花篮被放下后，槽盖自动关闭，槽盖底部冷凝管封闭设计，减少蒸发，避免药液损失。

3.4 QDR工艺缸位

a)      组成：QDR槽由安装在槽体底部的快排汽缸、底部DI水注入孔及顶部左右两侧的DI水喷嘴实现槽体的快速注入与排放，有氮气鼓泡功能。可通过程序切换控制冷热水冲洗。

b)      材质：槽体进口NPP板材，管路PFA, PP

c)      工艺流程：开始运行，底部注入、上部喷淋及N₂鼓泡同时启动，待设定时间到后（时间、压力应保证水注满），停止上喷淋且定时进入溢流状态，待溢流时间完成后，开启快排阀排空，一个循环过程结束。在设定循环次数完成后，再立即注满水进入溢流过程并延时一定时间（时间可设定），系统检测电阻率是否达到，达到后结束工艺流程通知机械手取出，如不满足在QDR槽继续溢流等待，并发出报警信号。

d)      在溢流排放口安装有DIW电阻率检测仪，可对冲洗溢流的水质实时检控，并在触摸屏上显示。

e)      制程温度： RT（室温）~50℃±2℃可调，通过在线石英加热器加热。

f)       排放功能：自动快速排放至工厂废水排放管道。

g)      清洗方式：上喷淋、下给水、溢流

h)      喷嘴型式：锥形喷雾

i)       氮气鼓泡：有

3.5 机械手传输系统

a) 机械手具有运动极限保护。

b) 机械手采用防腐蚀设计，所有暴露在外的金属固定件要采取防腐塑料外包措施。

c) 机械手具备防压蓝保护功能。

d) 机械手开合夹持片盒具有夹紧检测传感器，未检测到抓紧，系统须停止动作并报警。

e) 操作方式：手动+自动两种模式

3.6 电气及软件控制

a) 主控制器：PLC+10寸触摸彩屏

b) 操作界面：具有参数设定、手动运行、自动运行、状态监控、信息记录等功能。

c) 工艺配方：可存储编辑菜单不少于5套。

d) 权限设置：设备控制采用分级3级权限设置管理。

e) 空气开关、断路器、电磁阀、按钮、氮气调压阀等采用SMC、施耐德或同等可靠性高的品牌。

3.7 安全保护

a) 设备具备人员安全、产品安全及设备自身安全防护功能。

b) 设备具有氮气、压缩空气，排风压力检测及报警功能。

c) 设备具有过载保护及漏电断路保护功能。

d) 各加热槽体具有防干烧及过温保护功能。

e) 设备具有漏液检测功能。

f) EMO紧急停止功能功能。

g) 加热器具有加热元件超温、过载漏电、流量检测干烧等保护。

h) 设备配备PP材质防漏盘，防漏盘安装漏液传感器，出现漏液情况设备声光报警。

4技术资料、售后、培训、验收与包装运输

4.1 技术资料

4.1.1 设备检验合格后，出厂提供以下技术文件：

a) 技术条件（含检验报告）。

b) 操作手册。

c) 维护手册。

d) 管路原理图、电气原理图、电气接线图各1份。

e) 以上资料为中文版一套。

f) 出厂检验合格证。

4.1.2 设备合同生效后，提供用户以下技术资料：

a) 设备外围动力接口位置图。

b) 设备外围动力条件。

c) 设备出厂提供关键机械外购件、关键电气元器件说明书。

d) 设备出厂发运资料：设备装箱清单、设备合格证、说明书、检验报告等。

4.2   售后服务

a)      设备最终验收合格之日起免费保修一年，免费提供后续软件升级。

b)      设备在保修期内如有重要零件非人为的损坏，应在零件更换之日起保修一年。

c)      设备保修期满一个月前，供方对设备精度免费进行检测和调整，调整后的设备精度必须符合出厂合格证要求。

d)      服务响应时间：48小时。

4.3   技术培训

a)      乙方专家在调试完成后，对用户操作人员及维修人员、工艺人员、管理人员进行技术培训，并达到预期的效果。技术培训内容如下：

b)      设备操作培训：培训设备的具体操作方法及步骤。

c)      维修课程：介绍设备机械及电气结构、维修保养知识、故障诊断及排除方法。

d)      使用技术培训：对用户在工艺和维修等重要技术参数方面及相关注意事项进行技能培训。

4.4   验收

4.4.1 预验收

设计完成后,双方进行设计确认，确认的主要内容为：

a) 设计结果与技术协议的一致性。

b) 用户对设备的人性化设计要求。

c) 设计结果与厂务接口的适应性。

设备出厂前调试完成后，在发货前邀请用户到供方现场对设备进行发货前预验收，预验收的主要内容为：

a) 外观检查：整体布局、外形、外围管线等是否美观合理。

b) 设备“三漏”（漏水、漏电、漏气）现象检查。

c) 设备模拟运行的稳定性验收（包括给排水等功能）。

以上两项验收工作完成后，双方应出具预验收备忘录，对需要更改的项目应给出明确的时间节点，最终的投产和发货工作需双方签字确认后方可进行。

4.4.2 安装、调试及终验收

设备到货后，供方应安排人员同时到达，指导用户完成设备的定位工作。

设备定位后的二次配工作及材料由买方负责完成。

二次配工作包括：主机电源、进水口、进气口（氮气、CDA）、废液排放口、排风口与厂务的连接。自动灭火系统电源与厂务的连接。其它附件的给排水、排风与厂务的连接。

主机与附件之间的所有连接（默认连接距离不超过3米）由供方调试时完成。

乙方在接到用户的二次配完成通知后，三天内安排工程师到达用户现场，进行设备现场调试。

验收内容包括：

a) 与技术协议的符合性验收。

b) 技术资料的验收：查看技术资料是否齐全，内容是否符合相关标准。

c) 设备的稳定性验收（连续运行3天无故障为合格）。

验收结论

a) 用户现场的最终验收工作应在2～3周内完成，验收依据：合同及技术协议。

b) 设备调试完成后，连续运转3天应无故障、而且各个槽的功能均应实现。

4.5   包装运输

乙方所提供的货物需采用相应标准的木箱或钢结构加固进行包装，该包装应适用于长途运输，具有良好的防潮、防水、防锈、防野蛮装卸等保护措施，以确保货物安全运抵需方现场，供方免费提供标准包装，不回收。